Bor triklorid (BCL3)er en uorganisk forbindelse som ofte brukes i tørr etsning og kjemisk dampavsetning (CVD) prosesser i halvlederproduksjon. Det er en fargeløs gass med en sterk skarp lukt ved romtemperatur og er følsom for fuktig luft fordi den hydrolyserer for å produsere saltsyre og borsyre.

Applikasjoner av bor triklorid

I halvlederindustrien,Bor trikloridbrukes hovedsakelig til tørr etsing av aluminium og som dopingmiddel for å danne P-type regioner på silisiumskiver. Det kan også brukes til å etse materialer som GaAs, Si, ALN og som en borkilde i visse spesifikke applikasjoner. I tillegg er bor -triklorid mye brukt i metallprosessering, glassindustri, kjemisk analyse og laboratorieforskning.

Sikkerhet for bor triklorid

Bor triklorider etsende og giftig og kan forårsake alvorlig skade på øynene og huden. Det hydrolyserer i fuktig luft for å frigjøre giftig hydrogenkloridgass. Derfor må det iverksettes passende sikkerhetstiltak ved håndteringBor triklorid, inkludert å bruke beskyttelsesklær, vernebriller og luftveisbeskyttelsesutstyr, og operere i et godt ventilert miljø.