Bortriklorid (BCl3)er en uorganisk forbindelse som ofte brukes i tørretsning og kjemisk dampavsetning (CVD) i halvlederproduksjon. Det er en fargeløs gass med en sterk, stikkende lukt ved romtemperatur og er følsom for fuktig luft fordi den hydrolyserer for å produsere saltsyre og borsyre.

Anvendelser av bortriklorid

I halvlederindustrien,Bortrikloridbrukes hovedsakelig til tørretsing av aluminium og som dopant for å danne P-type regioner på silisiumskiver. Det kan også brukes til å etse materialer som GaAs, Si, AlN, og som en borkilde i visse spesifikke applikasjoner. I tillegg er bortriklorid mye brukt i metallbearbeiding, glassindustri, kjemisk analyse og laboratorieforskning.

Sikkerhet for bortriklorid

Bortriklorider etsende og giftig og kan forårsake alvorlig skade på øyne og hud. Det hydrolyserer i fuktig luft og frigjør giftig hydrogenkloridgass. Derfor må det tas nødvendige sikkerhetstiltak ved håndtering.Bortriklorid, inkludert bruk av verneklær, vernebriller og åndedrettsvern, og arbeid i et godt ventilert miljø.