Lasergass

Lasergass brukes hovedsakelig til lasergløding og litografigass i elektronikkindustrien. Ved å dra nytte av innovasjonen av mobiltelefonskjermer og utvidelse av applikasjonsområder, vil omfanget av lavtemperatur polysilisiummarkedet utvides ytterligere, og laserglødingsprosessen har forbedret ytelsen til TFT-er betydelig. Blant neon-, fluor- og argongassene som brukes i ArF excimer-laseren for produksjon av halvledere, utgjør neon mer enn 96 % av lasergassblandingen. Med forfining av halvlederteknologi har bruken av excimer-lasere økt, og introduksjonen av dobbelteksponeringsteknologi har ført til en kraftig økning i etterspørselen etter neongass som forbrukes av ArF-eksimerlasere. Ved å dra nytte av fremme av lokalisering av elektroniske spesialgasser, vil innenlandske produsenter ha et bedre markedsvekstrom i fremtiden.

Litografimaskin er kjerneutstyret til halvlederproduksjon. Litografi definerer størrelsen på transistorer. Den koordinerte utviklingen av litografi-industrikjeden er nøkkelen til gjennombruddet til litografimaskinen. De matchende halvledermaterialene som fotoresist, fotolitografigass, fotomaske og belegg- og fremkallingsutstyr har høyt teknologisk innhold. Litografigass er gassen som litografimaskinen genererer dyp ultrafiolett laser. Ulike litografigasser kan produsere lyskilder med forskjellige bølgelengder, og deres bølgelengde påvirker direkte oppløsningen til litografimaskinen, som er en av kjernene i litografimaskinen. I 2020 vil det totale globale salget av litografimaskiner være 413 enheter, hvorav ASML-salget 258 enheter utgjorde 62 %, Canon-salget 122 enheter utgjorde 30 %, og Nikon-salget 33 enheter sto for 8 %.