Lasergass

Lasergass brukes hovedsakelig til lasergløding og litografigass i elektronikkindustrien. Ved å dra nytte av innovasjonen innen mobiltelefonskjermer og utvidelsen av bruksområder, vil omfanget av markedet for lavtemperatur-polysilisium bli ytterligere utvidet, og laserglødingsprosessen har forbedret ytelsen til TFT-er betydelig. Blant neon-, fluor- og argongassene som brukes i ArF-eksimerlaseren for produksjon av halvledere, står neon for mer enn 96 % av lasergassblandingen. Med forbedringen av halvlederteknologi har bruken av eksimerlasere økt, og innføringen av dobbel eksponeringsteknologi har ført til en kraftig økning i etterspørselen etter neongass som forbrukes av ArF-eksimerlasere. Ved å dra nytte av promoteringen av lokaliseringen av elektroniske spesialgasser, vil innenlandske produsenter ha et bedre markedsvekstrom i fremtiden.

Litografimaskinen er kjerneutstyret i halvlederproduksjon. Litografi definerer størrelsen på transistorer. Den koordinerte utviklingen av litografiindustrikjeden er nøkkelen til gjennombruddet for litografimaskinen. Matchende halvledermaterialer som fotoresist, fotolitografigass, fotomaske og belegg- og fremkallingsutstyr har høyt teknologisk innhold. Litografigass er gassen som litografimaskinen genererer dyp ultrafiolett laser. Ulike litografigasser kan produsere lyskilder med forskjellige bølgelengder, og bølgelengden deres påvirker direkte oppløsningen til litografimaskinen, som er en av kjernene i litografimaskinen. I 2020 vil det totale globale salget av litografimaskiner være 413 enheter, hvorav ASML-salg 258 enheter utgjorde 62 %, Canon-salg 122 enheter utgjorde 30 % og Nikon-salg 33 enheter utgjorde 8 %.