Hydrogenklorider en fargeløs gass med en skarp lukt. Den vandige oppløsningen kalles saltsyre, også kjent som saltsyre. Hydrogenklorid er veldig løselig i vann. Ved 0 ° C kan 1 volum vann løse opp omtrent 500 volum hydrogenklorid.

Den har følgende egenskaper og egenskaper:

1. Høy renhet

Renheten i elektronisk karakterhydrogenklorider veldig høy, vanligvis på ppm eller lavere nivå, for å sikre at ingen urenheter blir introdusert i halvlederproduksjonsprosessen.

2. Inertness

Det er en kjemisk inert gass som ikke reagerer med mange andre stoffer, noe som er veldig viktig for å forhindre forurensning av halvledermaterialer og utstyr.

3. Høy stabilitet

Elektronisk karakterhydrogenkloridGenerelt har stabil kjemi for å sikre pålitelig halvlederbehandling.

I halvlederbehandling inkluderer de viktigste anvendelsene av elektronisk kvalitet hydrogenklorid:

1. Rengjøring og tilberedning av overflaten

Som en effektiv overflatens renser, elektronisk karakterhydrogenkloridbrukes til å fjerne oksider og urenheter fra underlagsoverflaten for å sikre kvaliteten og renheten i det epitaksiale laget eller filmen.

2.Epitaksial veksthjelpemiddel

Brukes som et overflatebehandlingsmiddel i den epitaksiale prosessen, hjelper det å forbedre kvaliteten på det epitaksiale laget, forbedre gittermatching og redusere dannelsen av gitterfeil.

3. underbehandling av underlag

Før utarbeidelse av halvlederenheter, elektronisk karakterhydrogenkloridkan brukes til å behandle underlagsoverflaten for å danne en stabil base for å forbedre vedheftet mellom det epitaksiale laget og underlaget.

4. Deposisjon Hjelpemiddel

I prosessen med kjemisk dampavsetning (CVD) eller fysisk dampavsetning (PVD), kan elektronisk kvalitet hydrogenklorid brukes som et gassfaseoverføringsmedium for å delta i avsetningsreaksjonen av halvledermaterialer.

5. Gassfaseoverføringsmiddel

Som et gassfaseoverføringsmiddel blir andre gassformede forløpere introdusert i reaksjonskammeret for å bidra til å justere avsetningshastigheten og enhetligheten til materialet.

Disse egenskapene gjør elektronisk karakterhydrogenkloridEt viktig prosesseringsmiddel innen halvlederteknologi, som har en nøkkel innvirkning på ytelsen og påliteligheten til den endelige enheten.

I tillegg til bruken i halvlederbehandling, kan elektronisk kvalitet hydrogenklorid finne en rekke bruksområder i andre områder, inkludert: fremstilling av materialer med høy renhet, brenselceller, halvledermateriale vekst, dampfase -litografi, materialanalyse, kjemisk forskning.

Generelt, elektronisk karakterhydrogenklorider en allsidig, høy renhetsgass som har et bredt spekter av applikasjoner utenfor halvlederproduksjon.