I 2018 nådde det globale elektroniske gassmarkedet for integrerte kretser 4,512 milliarder dollar, en år-til-år økning på 16 %. Den høye vekstraten for den elektroniske spesialgassindustrien for halvledere og den enorme markedsstørrelsen har akselerert den innenlandske substitusjonsplanen for elektronisk spesialgass!
Hva er elektrongass?
Elektronisk gass refererer til det grunnleggende kildematerialet som brukes i produksjon av halvledere, flatskjermer, lysemitterende dioder, solceller og andre elektroniske produkter, og er mye brukt i rengjøring, etsing, filmdannelse, doping og andre prosesser. De viktigste bruksområdene for elektronisk gass inkluderer elektronikkindustrien, solceller, mobilkommunikasjon, bilnavigasjon og billyd- og videosystemer, romfart, militærindustri og mange andre felt.
Elektronisk spesialgass kan deles inn i syv kategorier i henhold til sin egen kjemiske sammensetning: silisium, arsen, fosfor, bor, metallhydrid, halogenid og metallalkoksyd. I henhold til ulike påføringsmetoder i integrerte kretser kan den deles inn i dopinggass, epitaksigass, ioneimplantasjonsgass, lysemitterende diodegass, etsegass, kjemisk dampavsetningsgass og balansegass. Det er mer enn 110 enheter spesialgasser som brukes i halvlederindustrien, hvorav mer enn 30 er vanlig.
Generelt deler halvlederproduksjonsindustrien gasser i to typer: vanlige gasser og spesialgasser. Blant dem refererer den vanlig brukte gassen til en sentralisert forsyning og bruker mye gass, som N2, H2, O2, Ar, He, etc. Spesialgass refererer til noen kjemiske gasser som brukes i prosessen med halvlederproduksjon, som f.eks. forlengelse, ioneinjeksjon, blanding, vasking og maskedannelse, som er det vi nå kaller elektronisk spesialgass, slik som høyrent SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, etc.
I hele produksjonsprosessen til halvlederindustrien, fra brikkevekst til den endelige enhetens emballasje, er nesten hver kobling uatskillelig fra elektronisk spesialgass, og mangfoldet av gass som brukes og høye kvalitetskrav, så elektronisk gass har halvledermaterialer. "Mat".
De siste årene har Kinas store elektroniske komponenter som halvledere og skjermpaneler økt i ny produksjonskapasitet, og det er en sterk etterspørsel etter importsubstitusjon av elektroniske kjemiske materialer. Elektroniske gassers posisjon i halvlederindustrien har blitt stadig mer fremtredende. Den innenlandske elektroniske gassindustrien vil innlede rask vekst.
Elektronisk spesialgass har svært høye krav til renhet, fordi hvis renheten ikke er opp til kravene, vil urenhetsgruppene som vanndamp og oksygen i den elektroniske spesialgassen lett danne oksidfilm på overflaten av halvlederen, noe som påvirker levetid for elektroniske enheter, og den elektroniske spesialgassen inneholder Partikler av urenheter kan forårsake halvlederkortslutninger og kretsskader. Det kan sies at forbedring av renhet spiller en viktig rolle i utbyttet og ytelsen til produksjon av elektroniske enheter.
Med den kontinuerlige utviklingen av halvlederindustrien, fortsetter brikkefremstillingsprosessen å forbedre seg, og nå har den nådd 5nm, som er i ferd med å nærme seg grensen for Moores lov, som tilsvarer en tjuendedel av diameteren til et menneskehår ( ca. 0,1 mm). Derfor stiller dette også høyere krav til renheten til den elektroniske spesialgassen produsert av halvledere.
Innleggstid: 15. desember 2021
