I 2018 nådde det globale markedet for elektronisk gass for integrerte kretser 4,512 milliarder amerikanske dollar, en økning på 16 % fra året før. Den høye vekstraten i den elektroniske spesialgassindustrien for halvledere og den enorme markedsstørrelsen har akselerert den innenlandske substitusjonsplanen for elektronisk spesialgass!
Hva er elektrongass?
Elektronisk gass refererer til det grunnleggende kildematerialet som brukes i produksjon av halvledere, flatskjermer, lysdioder, solceller og andre elektroniske produkter, og er mye brukt i rengjøring, etsing, filmdannelse, doping og andre prosesser. De viktigste bruksområdene for elektronisk gass inkluderer elektronikkindustrien, solceller, mobilkommunikasjon, bilnavigasjon og billyd- og videosystemer, luftfart, militærindustri og mange andre felt.
Elektronisk spesialgass kan deles inn i syv kategorier i henhold til sin kjemiske sammensetning: silisium, arsenikk, fosfor, bor, metallhydrid, halogenid og metallalkoksid. I henhold til ulike anvendelsesmetoder i integrerte kretser kan den deles inn i dopinggass, epitaksigass, ionimplantasjonsgass, lysdiodegass, etsingsgass, kjemisk dampavsetningsgass og balansegass. Det finnes mer enn 110 spesialgasser som brukes i halvlederindustrien, hvorav mer enn 30 er vanlig brukte.
Generelt deler halvlederproduksjonsindustrien gasser inn i to typer: vanlige gasser og spesialgasser. Blant disse refererer den vanlige gassen til en sentralisert forsyning og bruker mye gass, som N2, H2, O2, Ar, He, osv. Spesialgass refererer til noen kjemiske gasser som brukes i prosessen med halvlederproduksjon, som for eksempel ekstensjon, ioninjeksjon, blanding, vasking og maskedannelse, som er det vi nå kaller elektronisk spesialgass, som høyrens SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2, osv.
I hele produksjonsprosessen i halvlederindustrien, fra chiputvikling til den endelige enhetens emballasje, er nesten alle ledd uatskillelige fra elektronisk spesialgass, og variasjonen av gass som brukes og høye kvalitetskrav, så elektronisk gass har halvledermaterialer. "Mat".
I de senere årene har Kinas viktigste elektroniske komponenter som halvledere og skjermpaneler økt i ny produksjonskapasitet, og det er sterk etterspørsel etter importert erstatning av elektroniske kjemiske materialer. Elektroniske gasser spiller en stadig større rolle i halvlederindustrien. Den innenlandske elektronikkgassindustrien vil oppleve rask vekst.
Elektronisk spesialgass har svært høye krav til renhet, fordi hvis renheten ikke er i samsvar med kravene, vil urenhetsgrupper som vanndamp og oksygen i den elektroniske spesialgassen lett danne en oksidfilm på overflaten av halvlederen, noe som påvirker levetiden til elektroniske enheter, og den elektroniske spesialgassen inneholder urenheter. Disse partiklerne kan forårsake kortslutninger og kretsskader i halvledere. Det kan sies at forbedring av renheten spiller en viktig rolle i utbyttet og ytelsen til produksjon av elektroniske enheter.
Med den kontinuerlige utviklingen av halvlederindustrien fortsetter produksjonsprosessen for brikke å forbedre seg, og den har nå nådd 5 nm, som er i ferd med å nærme seg grensen i Moores lov, som tilsvarer en tjuendedel av diameteren til et menneskehår (omtrent 0,1 mm). Derfor stiller dette også høyere krav til renheten til den elektroniske spesialgassen som produseres av halvledere.
Publisert: 15. desember 2021
