Bruk av wolfram heksafluorid (WF6)

Wolfram heksafluorid (WF6) avsettes på overflaten av skiven gjennom en CVD -prosess, fyller metall -sammenkoblingsgravene og danner metall -sammenkoblingen mellom lag.

La oss snakke om plasma først. Plasma er en form for materie hovedsakelig sammensatt av frie elektroner og ladede ioner. Det eksisterer vidt i universet og blir ofte sett på som den fjerde tilstanden av materie. Det kalles plasmatilstanden, også kalt ”plasma”. Plasma har høy elektrisk ledningsevne og har en sterk koblingseffekt med elektromagnetisk felt. Det er en delvis ionisert gass, sammensatt av elektroner, ioner, frie radikaler, nøytrale partikler og fotoner. Selve plasmaet er en elektrisk nøytral blanding som inneholder fysisk og kjemisk aktive partikler.

Den enkle forklaringen er at under virkning av høy energi vil molekylet overvinne van der Waals -kraft, kjemisk bindingskraft og Coulomb -kraft, og presentere en form for nøytral elektrisitet som helhet. Samtidig overvinner den høye energien som ble gitt av utsiden, de ovennevnte tre styrkene. Funksjon, elektroner og ioner presenterer en fri tilstand, som kan brukes kunstig under modulering av et magnetfelt, for eksempel halvlederensetingsprosess, CVD -prosess, PVD og IMP -prosess.

Hva er høy energi? I teorien kan både høye temperaturer og høyfrekvente RF brukes. Generelt sett er høy temperatur nesten umulig å oppnå. Dette temperaturkravet er for høyt og kan være nær solens temperatur. Det er i utgangspunktet umulig å oppnå i prosessen. Derfor bruker industrien vanligvis høyfrekvente RF for å oppnå den. Plasma RF kan nå så høyt som 13MHz+.

Tungsten heksafluorid plasmaiseres under virkningen av et elektrisk felt, og deretter dampavsatt av et magnetfelt. W -atomer ligner på vinter gåsefjær og faller til bakken under tyngdekraften. Sakte blir W -atomer avsatt i gjennomgående hull, og til slutt fylt fullt gjennom hull for å danne metallforbindelser. I tillegg til å avsette W -atomer i gjennomgående hull, vil de også bli avsatt på overflaten av skiven? Ja, definitivt. Generelt sett kan du bruke W-CMP-prosessen, og det er det vi kaller den mekaniske slipeprosessen for å fjerne. Det ligner på å bruke en kost for å feie gulvet etter kraftig snø. Snøen på bakken blir feid bort, men snøen i hullet på bakken vil forbli. Ned, omtrent det samme.