Elektroniskspesielle gasserer en viktig gren av spesialgasser. De trenger inn i nesten alle ledd i halvlederproduksjonen og er uunnværlige råvarer for produksjon av elektronikkindustrier som ultrastorskala integrerte kretser, flatskjermer og solceller.

Innen halvlederteknologi er fluorholdige gasser mye brukt. For tiden utgjør fluorholdige elektroniske gasser omtrent 30 % av totalen i det globale markedet for elektronisk gass. Fluorholdige elektroniske gasser er en viktig komponent i spesielle elektroniske gasser innen elektronisk informasjonsmateriale. De brukes hovedsakelig som rengjøringsmidler og etsemidler, og kan også brukes som dopanter, filmdannende materialer, etc. I denne artikkelen vil forfatteren ta deg med til å forstå de vanlige fluorholdige gassene.

Følgende er vanlige fluorholdige gasser

Nitrogentrifluorid (NF3): En gass som brukes til rengjøring og fjerning av avleiringer, vanligvis brukt til rengjøring av reaksjonskamre og utstyrsoverflater.

Svovelheksafluorid (SF6)Et fluoreringsmiddel som brukes i oksidavsetningsprosesser og som en isolerende gass for fylling av isolerende medier.

Hydrogenfluorid (HF): Brukes til å fjerne oksider fra silisiumoverflaten og som etsemiddel for etsing av silisium og andre materialer.

Nitrogenfluorid (NF): Brukes til å etse materialer som silisiumnitrid (SiN) og aluminiumnitrid (AlN).

Trifluormetan (CHF3) ogtetrafluormetan (CF4)Brukes til å etse fluoridmaterialer som silisiumfluorid og aluminiumfluorid.

Fluorholdige gasser har imidlertid visse farer, inkludert giftighet, etsende egenskaper og brennbarhet.

Toksisitet

Noen fluorholdige gasser er giftige, for eksempel hydrogenfluorid (HF), hvis damp er svært irriterende for hud og luftveier og skadelig for menneskers helse.

Korrosivitet

Hydrogenfluorid og noen fluorider er svært etsende og kan forårsake alvorlig skade på hud, øyne og luftveier.

Brennbarhet

Noen fluorider er brannfarlige og reagerer med oksygen eller vann i luften og frigjør intens varme og giftige gasser, som kan forårsake brann eller eksplosjon.

Fare for høyt trykk

Noen fluorholdige gasser er eksplosive under høyt trykk og krever spesiell forsiktighet ved bruk og lagring.

Påvirkning på miljøet

Fluorholdige gasser har høy atmosfærisk levetid og GWP-verdier, som har en ødeleggende effekt på det atmosfæriske ozonlaget og kan forårsake global oppvarming og miljøforurensning.

Bruken av gasser i nye felt som elektronikk fortsetter å øke, noe som fører til en stor mengde ny etterspørsel etter industrigasser. Basert på den store mengden ny produksjonskapasitet for store elektroniske komponenter som halvledere og skjermpaneler i Fastlands-Kina de neste årene, samt den sterke etterspørselen etter importsubstitusjon av elektroniske kjemiske materialer, vil den innenlandske elektroniske gassindustrien innlede en høy vekstrate.