ElektroniskSpesielle gasserer en viktig gren av spesielle gasser. De trenger inn i nesten alle koblinger med halvlederproduksjon og er uunnværlige råvarer for produksjon av elektroniske næringer som intra-store integrerte kretser, flatskjermanordninger og solceller.

I halvledeteknologi brukes fluorholdige gasser mye. For øyeblikket, i det globale elektroniske gassmarkedet, utgjør fluorholdige elektroniske gasser omtrent 30% av totalen. Fluorholdige elektroniske gasser er en viktig komponent i spesielle elektroniske gasser innen elektronisk informasjonsmaterialer. De brukes hovedsakelig som rengjøringsmidler og etsemidler, og kan også brukes som dopingmidler, filmdannende materialer, etc. I denne artikkelen vil forfatteren ta deg til å forstå de vanlige fluorholdige gassene.

Følgende er ofte brukt fluorholdige gasser

Nitrogen trifluorid (NF3): en gass som brukes til rengjøring og fjerning av avsetninger, vanligvis brukt til rengjøring av reaksjonskamre og utstyrsflater.

Svovel heksafluorid (SF6): Et fluoreringsmiddel som brukes i oksydavsetningsprosesser og som en isolerende gass for å fylle isolerende medier.

Hydrogenfluorid (HF): Brukes til å fjerne oksider fra silisiumoverflaten og som et etchant for etsing av silisium og andre materialer.

Nitrogenfluorid (NF): Brukes til etsematerialer som silisiumnitrid (sin) og aluminiumnitrid (ALN).

Trifluormetan (CHF3) ogtetrafluormetan (CF4): Brukes til å etse fluoridmaterialer som silisiumfluorid og aluminiumfluorid.

Imidlertid har fluorholdige gasser visse farer, inkludert toksisitet, etsighet og brennbarhet.

Toksisitet

Noen fluorholdige gasser er giftige, for eksempel hydrogenfluorid (HF), hvis damp er svært irriterende for huden og luftveiene og skadelig for menneskers helse.

Korrosivitet

Hydrogenfluorid og noen fluorider er svært etsende og kan forårsake alvorlig skade på huden, øynene og luftveiene.

Brennbarhet

Noen fluorider er brennbare og reagerer med oksygen eller vann i luften for å frigjøre intens varme og giftige gasser, noe som kan forårsake brann eller eksplosjon.

Høytrykksfare

Noen fluorerte gasser er eksplosive under høyt trykk og krever spesiell pleie når de brukes og lagres.

Innvirkning på miljøet

Fluorholdige gasser har høye atmosfæriske levetid og GWP-verdier, som har en destruktiv effekt på det atmosfæriske ozonlaget og kan forårsake global oppvarming og miljøforurensning.

Påføringen av gasser i nye felt som elektronikk fortsetter å utdype, noe som gir en stor mengde ny etterspørsel etter industrikasser. Basert på den store mengden ny produksjonskapasitet av store elektroniske komponenter som halvledere og visningspaneler i Kina i de neste årene, samt den sterke etterspørselen etter importsubstitusjon av elektroniske kjemiske materialer, vil den innenlandske elektroniske gassindustrien innlede en høy veksthastighet.