Elektroniskspesielle gasserer en viktig gren av spesielle gasser. De trenger gjennom nesten alle ledd i halvlederproduksjon og er uunnværlige råmaterialer for produksjon av elektroniske industrier som ultra-storskala integrerte kretser, flatskjermer og solceller.

I halvlederteknologi er fluorholdige gasser mye brukt. For tiden, i det globale elektroniske gassmarkedet, utgjør fluorholdige elektroniske gasser omtrent 30 % av totalen. Fluorholdige elektroniske gasser er en viktig komponent i spesielle elektroniske gasser innen elektronisk informasjonsmateriell. De brukes hovedsakelig som rengjøringsmidler og etsemidler, og kan også brukes som dopingmidler, filmdannende materialer osv. I denne artikkelen vil forfatteren ta deg med til å forstå de vanlige fluorholdige gassene.

Følgende er vanlige fluorholdige gasser

Nitrogentrifluorid (NF3): En gass som brukes til å rense og fjerne avleiringer, vanligvis brukt til å rense reaksjonskamre og utstyrsoverflater.

Svovelheksafluorid (SF6): Et fluoreringsmiddel som brukes i oksidavsetningsprosesser og som en isolasjonsgass for å fylle isolasjonsmedier.

Hydrogenfluorid (HF): Brukes til å fjerne oksider fra silisiumoverflaten og som etsemiddel for etsing av silisium og andre materialer.

Nitrogenfluorid (NF): Brukes til å etse materialer som silisiumnitrid (SiN) og aluminiumnitrid (AlN).

Trifluormetan (CHF3) ogtetrafluormetan (CF4): Brukes til å etse fluormaterialer som silisiumfluorid og aluminiumfluorid.

Imidlertid har fluorholdige gasser visse farer, inkludert toksisitet, korrosivitet og brennbarhet.

Giftighet

Noen fluorholdige gasser er giftige, for eksempel hydrogenfluorid (HF), hvis damp er svært irriterende for hud og luftveier og skadelig for menneskers helse.

Korrosivitet

Hydrogenfluorid og noen fluorider er svært etsende og kan forårsake alvorlig skade på hud, øyne og luftveier.

Brennbarhet

Noen fluorider er brannfarlige og reagerer med oksygen eller vann i luften for å frigjøre intens varme og giftige gasser, som kan forårsake brann eller eksplosjon.

Høytrykksfare

Noen fluorholdige gasser er eksplosive under høyt trykk og krever spesiell forsiktighet når de brukes og oppbevares.

Påvirkning på miljøet

Fluorholdige gasser har høye atmosfæriske levetider og GWP-verdier, som har en ødeleggende effekt på det atmosfæriske ozonlaget og kan forårsake global oppvarming og miljøforurensning.

Anvendelsen av gasser i nye felt som elektronikk fortsetter å bli dypere, noe som gir en stor mengde ny etterspørsel etter industrigasser. Basert på den store mengden ny produksjonskapasitet for store elektroniske komponenter som halvledere og skjermpaneler på fastlands-Kina de neste årene, samt den sterke etterspørselen etter importsubstitusjon av elektroniske kjemiske materialer, vil den innenlandske elektroniske gassindustrien innlede en høy vekstrate.