Hva erkarbontetrafluorid? Hva er nytten?
Karbontetrafluorid, også kjent som tetrafluormetan, regnes som en uorganisk forbindelse. Den brukes i plasmaetsingsprosessen til forskjellige integrerte kretsløp, og brukes også som lasergass og kjølemiddel. Den er relativt stabil under normal temperatur og trykk, men det er nødvendig å unngå kontakt med sterke oksidanter, brennbare eller brennbare materialer. Karbontetrafluorid er en ikke-brennbar gass. Møter den på høy varme vil det føre til at det indre trykket i beholderen øker, og det er fare for sprekkdannelse og eksplosjon. Vanligvis kan det bare samhandle med flytende ammoniakk-natriummetallreagens ved romtemperatur.
Karbontetrafluorider for tiden den største plasmaetsegassen som brukes i mikroelektronikkindustrien. Det kan brukes mye i etsing av silisium, silisiumdioksid, fosfosilikatglass og andre tynnfilmmaterialer, rengjøring av overflaten av elektroniske enheter, solcelleproduksjon, laserteknologi, gassfaseisolasjon, lavtemperaturkjøling, lekkasjedeteksjonsmidler, og vaskemidler i produksjon av trykte kretser har et stort antall bruksområder.
Innleggstid: Nov-01-2021