Komponent | 99,9999 % | Enhet |
Oksygen (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Nitrogen | ≤0,1 | ppmV |
Hydrogen | ≤20 | ppmV |
Helium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klorsilaner | ≤0,1 | ppmV |
Disiloksan | ≤0,1 | ppmV |
Disilan | ≤0,1 | ppmV |
Fuktighet (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
Silan er en forbindelse av silisium og hydrogen. Det er en generell betegnelse for en rekke forbindelser, inkludert monosilan (SiH4), disilan (Si2H6) og noen høyere nivåer av silisium-hydrogenforbindelser. Blant dem er monosilan den vanligste, noen ganger referert til som silan. Silan er en fargeløs gass med en motbydelig lukt av hvitløk. Løselig i vann, nesten uløselig i etanol, eter, benzen, kloroform, silisiumkloroform og silisiumtetraklorid. De kjemiske egenskapene til silaner er mye mer aktive enn alkaner og oksideres lett. Spontan forbrenning kan oppstå ved kontakt med luft. Det reagerer ikke med nitrogen under 25 °C, og reagerer ikke med hydrokarbonforbindelser ved romtemperatur. Brann og eksplosjon av silan er et resultat av reaksjon med oksygen. Silan er ekstremt følsomt for oksygen og luft. Silan med en viss konsentrasjon vil også reagere eksplosivt med oksygen ved en temperatur på -180 °C. Silan har blitt den viktigste spesialgassen som brukes i halvledermikroelektronikkprosesser, og brukes i fremstillingen av ulike mikroelektroniske filmer, inkludert enkeltkrystallfilmer, mikrokrystallinsk, polykrystallinsk, silisiumoksid, silisiumnitrid og metallsilikider. De mikroelektroniske anvendelsene av silan er fortsatt under utvikling: lavtemperaturepitaksi, selektiv epitaksi og heteroepitaksial epitaksi. Ikke bare for silisiumkomponenter og integrerte silisiumkretser, men også for sammensatte halvlederkomponenter (galliumarsenid, silisiumkarbid, etc.). Det har også anvendelser i fremstillingen av supergitterkvantebrønnmaterialer. Det kan sies at silan brukes i nesten alle avanserte integrerte kretsproduksjonslinjer i moderne tid. Anvendelsen av silan som en silisiumholdig film og belegg har utvidet seg fra den tradisjonelle mikroelektronikkindustrien til ulike felt som stål, maskiner, kjemikalier og optikk. En annen potensiell anvendelse av silan er produksjon av høyytelses keramiske motordeler, spesielt bruken av silan til å produsere silisid (Si3N4, SiC, etc.) mikropulverteknologi har fått mer og mer oppmerksomhet.
①Elektronisk:
Silan påføres polykrystallinske silisiumlag på silisiumskiver ved produksjon av halvledere og tetningsmidler.
②Solenergi:
Silan brukes i produksjon av solcellemoduler.
③Industriell:
Det brukes i energisparende grønt glass og påføres i tynnfilmprosessen for dampavsetning.
Produkt | Silan SiH4 væske | |
Pakkestørrelse | 47 liters sylinder | Y-440L |
Fylling Nettovekt/Sylinder | 10 kg | 125 kg |
Antall lastet i 20'-container | 250 sylindre | 8 sylindre |
Total nettovekt | 2,5 tonn | 1 tonn |
Sylinderens egenvekt | 52 kg | 680 kg |
Ventil | CGA632/DISS632 |
①Mer enn ti år på markedet;
②ISO-sertifikatprodusent;
③Rask levering;
④Stabil råmaterialekilde;
⑤Online analysesystem for kvalitetskontroll i hvert trinn;
⑥Høye krav og grundig prosess for håndtering av sylinder før fylling;
⑦Renhet: elektronisk kvalitet med høy renhet;
⑧Bruk: solcellematerialer; produksjon av høyrent polysilisium, silisiumoksid og optisk fiber; produksjon av farget glass.